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奥芯明:以高精度封装设备破解CPO量产难题,赋能中国芯高速发展

2025-09-19 15:38:36

在AI、自动驾驶、智能感知等前沿应用加速落地的当下,芯片封装技术已突破单一工艺节点的局限,迈入多技术深度融合、跨模组协同的复杂系统阶段。尤其随着AI数据中心与光通信设备向800G/1.6T高带宽时代演进,硅光子与电子芯片之间的集成需求呈爆发式增长,而光学共封装(CPO)技术凭借“将光学I/O与ASIC芯片近距离集成”的核心优势,正逐步成为连接算力芯片与高速光引擎的关键路径,其规模化量产也成为行业突破高性能数据传输瓶颈的核心课题。

9月10日-12日,第二十六届中国国际光电博览会(CIOE 2025)在深圳国际会展中心盛大举办。在同期举行的高性能光电子集成芯片前沿技术论坛上,奥芯明半导体设备技术销售经理吴顺威发表题为《CPO及其大规模封装制造解决方案》的演讲,深入解析共封装光学(CPO)技术的发展趋势与量产挑战,并重磅展示了奥芯明基于ASMPT全球技术积淀打造的CPO大规模封装制造解决方案,凭借超高精度、全流程覆盖的设备优势。

高精度封装设备

奥芯明半导体设备技术销售经理吴顺威

吴顺威在演讲中指出,CPO作为融合光、电技术的下一代封装方案,其核心目标是将光学I/O与ASIC芯片紧密集成,以实现更高带宽与能量效率,在数据中心、人工智能、高性能计算等领域拥有巨大应用潜力。但当前CPO产业化仍面临两大核心挑战,一是光IC与电IC两类异质芯片的融合难题,需突破设备精度与工艺适配瓶颈;二是行业缺乏统一标准,导致不同企业技术路线分散,难以实现规模化生产。

“CPO的未来不是‘光’或‘电’的单独升级,而是二者的深度协同。”吴顺威强调,奥芯明的核心任务就是通过设备创新打破技术壁垒,推动行业标准共建,让CPO从“实验室概念”走向“量产落地”。

ASMPT作为全球半导体封装和SMT贴装解决方案的领导者,通过多次战略收购构建了完整的技术版图。2011年收购西门子SIPLACE团队,2018年并购德国AMICRA公司,进一步增强了其在超高精度贴片、硅光封装等前沿领域的能力。

围绕CPO封装的全流程需求,吴顺威详细介绍了ASMPT的设备矩阵——依托AMICRA超高精度技术,结合ASMPT在半导体封装领域50年的技术积累,奥芯明已构建起从芯片贴装、激光焊接到热压键合的全链条设备能力,关键指标达到全球领先水平。

在核心设备精度上,ASMPT AMICRA的NANO系列超高精度贴片机XY方向定位精度可达0.2μm 3σ,NANO Lite1μm高速贴片机、COS1.5μm芯片对芯片(Chip to Chip)贴片机可满足不同场景需求;针对激光器贴装,其设备已实现12英寸晶圆级集成,X方向偏差小于0.3μm、Y方向偏差约0.4μm,完全满足CPO对有源光学器件的高精度要求。

在关键工艺突破上,吴顺威展示了ASMPT的三大创新应用。一是与欧洲实验室合作开发的激光器贴装技术,采用AuSn共晶工艺,在300℃激光焊接条件下实现无源对准,精度稳定控制在0.5μm以内;二是Teramount联合开发的微透镜(μLens)贴装方案,通过视觉定位与原位UV固化技术,贴装偏差小于0.3μm,倾斜度低于0.05度,大幅提升光耦合效率;三是针对光纤阵列(FAU)与光子集成芯片(PIC)的贴装需求,通过PIC V型槽视觉对准技术,实现1-2μm高精度贴合,且支持贴装与固化一体化作业,提升生产效率。


高精度封装设备


此外,ASMPT的FIREBIRD热压键合设备、NOVA回流焊设备等可覆盖CPO从Chip to Wafer、Chip to Chip到系统集成的全工艺环节,尤其在硅光封装领域,已占据全球市场领先地位,成为众多国际客户的核心设备供应商。

演讲中,吴顺威特别介绍了奥芯明的成立背景与发展定位。作为ASMPT于2023年设立的本土品牌,奥芯明承载着将全球领先技术与中国本土需求深度融合的使命——依托ASMPT超2000项zhuanli储备、覆盖半导体封装全链条的设备布局,以及在全球硅光、先进封装领域领先的市场地位,奥芯明已在上海设立总部及研发中心,并在天津、苏州、深圳等多地布局生产与服务基地,实现从研发、供应链到生产服务的全本土化运营。

“我们不仅要把全球zui好的设备带到中国,更要联合本土产业链伙伴,共同定义符合中国市场需求的CPO标准。”吴顺威表示,奥芯明将充分发挥本土化响应优势,针对国内客户在CPO研发、中试到量产的不同阶段需求,提供定制化设备解决方案与技术支持,助力中国半导体产业在光电子封装领域实现“换道超车”。

文章转载于奥芯明

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