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芯片制造全流程

2025-08-15 15:08:04

在智能手机、电脑和汽车的核心,藏着指甲盖大小的芯片。它们由比发丝细千倍的电路构成,制造过程如同在米粒上雕刻一座超级城市。以下是芯片从硅砂到成品的全流程:

芯片制造

first阶段:设计蓝图

IC设计

设计公司(Design House)用软件绘制电路图,完成数十亿晶体管的布局

Tape Out:将最终设计数据交付给掩模厂

掩模制造

光刻机在石英板上刻蚀电路图案(Photomask)

一套先进芯片需80-120块掩模版,每块造价超5万美元

芯片制造

第二阶段:晶圆厂(FAB)的纳米级雕刻

硅提纯:将砂石熔炼成99.9999%纯度的硅锭(Ingot)

晶圆切片:将硅锭切割成0.7mm厚度的圆片(Wafer),主流尺寸300mm(12英寸)

核心制造循环(重复40-100次)

氧化/沉积:

高温氧化生成绝缘层(Oxidation)

气相沉积薄膜(CVD/PVD)

光刻:

涂光刻胶(Photoresist)→掩模对准曝光(Litho)→显影(Development)

图形刻蚀:

用等离子体蚀刻暴露区域(Etch)

离子注入改变半导体特性(Ion Implantation)

清洗去胶:

化学液清除残留光刻胶(Photoresist Removal)

超纯水清洗(Cleaning)

芯片制造

第三阶段:测试与封装

晶圆测试(CP Test):

探针台接触芯片引脚,筛选失效电路(WAT测试)

不良芯片标记为墨点(Ink Marking)

切割封装:

贴片(Die Bonding)引线键合(Wire Bonding)塑封成型(Package)

激光切割晶圆成独立芯片(Dicing)封装厂进行:

ultimate考验:

FT测试:模拟实际工作环境

烧机测试(Burn-in):高温高压老化筛选早期故障

芯片制造

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芯片制造

芯片制造

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